現(xiàn)在的平面研磨機(jī)都是采用游離磨料,合適的研磨加工機(jī)器和研磨工藝的平面研磨,作為一種設(shè)備相對(duì)簡(jiǎn)單,又仍然可以得到很高的形體精度和表面質(zhì)量的方法,依舊是超精密加工最有效的手段之一了。那么超精密的平面研磨加工技術(shù)是研磨技術(shù)中的一種,可以獲得極高的零件表面質(zhì)量,主要是可以獲得極高的面部精度 (平面度 平行度等)和無(wú)加工變質(zhì)層的表面?,F(xiàn)代高科技產(chǎn)品的制造,如單晶硅片 硬磁盤(pán)基片 壓電陶瓷換能器等均需要采用超精密平面研磨加工技術(shù)。超精密平面研磨可以分為四個(gè)基礎(chǔ)組成成分----研磨盤(pán)研磨液磨粒和工件。研磨盤(pán)是精密研磨加工中的磨具,其面型精度對(duì)被加工件的面型精度影響非常···